Caractéristiques
- Précision et répétabilité excellentes
- Rotation rapide de l'analyseur
- Logiciel puissant avec bibliothèque comprenant les caractéristiques de nombreux matériaux
- Un second laser est utilisé pour réaliser facilement l'alignement
- Angle pouvant varier de 20° à 90°
- L'autofocus compense les défauts de topographie de surface
- Grande stabilité et reproductibilité de l'angle mesuré (meilleure que 0.01°)
- Temps nécessaire à la mesure inférieure à 1 seconde.
La longueur d'onde standard du PHE101 est 632.8nm (HeNe). D'autres longueurs d'onde sont également possible telles que 543nm, 594nm, 612nm, 633nm, 830nm, 1310nm ou 1520nm.
Taille du faisceau
Les mesures ellipsomètriques peuvent être réalisées sur de surfaces d'échantillons plus petites que 50µmX50µm (en option). Des échantillons de très petites tailles peuvent donc être analysés (cartographie possible en option).
Alignement
Un second laser est utilisé pour l'alignement. Cette technique est plus avancée que les méthodes traditionnelles (quadrant). L'alignement devient facile et précis. Il est possible de corriger les erreurs d'alignement par une correction automatique.
Logiciel
L'ellipsomètre PHE101 est fourni avec un logiciel puissant. Il calcule n,k et l'épaisseur pour le substrat, le film et les multi-couches. L'utilisateur peut sauvegarder des modèles et des courbes de simulation qui peuvent être utilisés pour le calcul.
Bibliothèque des matériaux
Le logiciel de l'ellipsomètre contient des informations sur des centaines de matériaux tels que pour les matériaux semi-conducteurs, les diélectriques, les métaux et les autres matériaux.
Caractéristiques:
| Epaisseur de films transparents |
0 - 6000 nm |
| Epaisseur de films absorbants |
0 - 6000 nm |
| Gamme d'angle d'incidence |
20 - 90 ° |
| Pas des angles de réflections |
5 ° ± 0.01 ° |
| Précision de mesure de l'indice de réfraction |
0.0001 |
| Précision de mesure de l'épaisseur du film |
± 0.001 nm pour un échantillon standard en SiO2 |
| Temps de mesure |
Moins d'une seconde |
| Plateau de l'échantillon |
Listel jusqu'à un diamètre de 200mm |
| Ajustement du plateau de mesure |
Angles et hauteur |
| Alignement de l'échantillon |
Par un second laser avec une unité de correction automatique |
| Longueur d'onde standard |
632.8 nm |
| Longueur d'onde optionelle |
543 nm, 594 nm, 612 nm, 633 nm et 1150 nm ou sur demande |
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