Une précision élevée
La précision de l’équipement standard est de 100nm. Sur demande, nous pouvons l’améliorer à 10nm voir jusqu'à 1nm ! (Cf. brochure ci-dessous)
Une grande distance de travail possible
Le profilomètre FLATSCAN peut être utilisé avec une grande distance de travail et possède une gamme de mesure en hauteur de flèche allant de 70 à 700µm (cette valeur dépend du champ de mesure).
L'intérêt par rapport à l'interférométrie est que l'on a accès en tout point à l'angle de la surface par rapport à l'axe optique de référence. De plus, des échantillons ayant des rayons de courbure d'une dizaine de mètres peuvent être analysés avec cette méthode (ce n'est pas le cas en interféromètrie car le nombre de franges est trop élevé).
Documentation en ligne :
 Télécharger la brochure FlatScan
Déflectomètre très hautes performances
Lien vers le site web de la société OEG
Si vous souhaitez avoir de plus amples renseignements, n’hésitez pas à nous contacter.
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