Métrologie optique

Micro & Nanopositionnement

Produits de microscopie

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Mesure d'épaisseur de verre ou d'objets transparents

 

Le capteur OEG CAS est un appareil permettant une mesure précise de distance et d'épaisseur de verre.

La tête de mesure comprend un laser, un objectif de projection, un objectif de mesure et une caméra CCD miniature comprenant 440.000 pixels.

La version standard du CAS-30/30 utilise un faisceau symétrique. Les axes optiques de l'objectif de projection et de l'objectif de mesure forme un angle de 30° par rapport à la normale à la surface de l'échantillon.

Un déplacement de l'échantillon sous test selon l'axe z induit un déplacement du spot sur la caméra CCD. Ce déplacement est mesuré avec une résolution meilleure que le pixel en utilisant un système de traitement de l'image. Une calibration du système de haute précision permet une résolution de 0.1µm avec une distance de travail de 22 ± 0.5mm

Donnnées techniques du capteur CAS-30/30

  • Taille : 155X55X145mm
  • Masse : 400g
  • Distance de travail : 22 ± 5 mm
  • Alimentation externe 5V et 12V (courant continu)
  • Temps nécessaire pour la mesure : entre 0.1s et 0.5s suivant la configuration utilisé
Surfaces polies
Surfaces non polies
Resolution
0.05µm
0.1µm
Précision pour une gamme de mesure de 100µm
±0.2µm

±0.25µm

Précision sur toute la gamme de mesure
±0.5µm

±2µm

Gamme de mesure
800µm ±400µm
600µm ±300µm

(*) Ces paramètres concernent des équipements standards et peuvent être adaptés à toutes demandes spécifiques

Documentation en ligne :

Télécharger la brochure CAS (capteur uniquement)

Télécharger la brochure DHM (Banc permettant la mesure d'homogénéité d'épaisseur)

Télécharger la brochure WMT (Banc permettant la mesure d'épaisseur de wafer)

Télécharger la brochure GPM (Banc permettant de caractériser de grands échantillons)

Lien vers le site web de la société OEG

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